Die einzigartige und patentierte „CEM“ – Technologie, die für Controlled Evaporation Mixing steht, wurde für eine genauere Steuerung der Dampfdosierung entwickelt. Herkömmliche Bubbler-Systeme sind oft nicht in der Lage, ausreichende Mengen von Flüssigkeiten mit niedrigem Dampfdruck zu verarbeiten, oder aber sie sind schwer zu regeln. Außerdem können sie nicht sofort den Dampf einer Mischung von Flüssigkeiten mit unterschiedlichen Dampfdrücken bereitstellen. Diese Probleme gehören dank unserer Dampfdosierungslösungen der Vergangenheit an.
Die Verdampfungstechnologie von Bronkhorst ist schnell, genau, wiederholbar und effizient.
Dampfdiffusionsanwendungen:
CVD (Chemical Vapour Deposition, zu deutsch Gasphasenabscheidung) für u.a. Härten, Dünnfilm-Beschichtung oder Planarisierungsprozesse
Prüfung / Kalibrierung von Analysatoren mit Referenzgasdampfkonzentrationen
Test der Einflüsse giftiger Gase auf Schutzkleidung
Analysatoren mit Referenz-H2O-Dampfkonzentrationen
Kraftstoffbefeuchtung
Betäubungsmittel
Sorptionsexperimente oder -prozesse in pharmazeutischen oder Lebensmittelanwendungen
Anwendungsbeispiele:
Kontrollierte Versorgung mit Polymer-Vorläufern, um Textilien wasserdicht zu machen
Verdampfersystem für die Behandlung von Glasoberflächen
Kontrollierte Befeuchtung für orthopädische und dentale Anwendungen
Verwendung von Durchflussregelung bei der Produktion von PV-Solarmodulen
Aufbringen von Aluminiumoxid-Passivierungsschichten auf Solarmodulen
Einsatz von Dampfdiffusion bei der Forschung nach einer hochwertigen Graphenproduktion
Das CEM-System (Controlled Evaporation and Mixing) ist ein innovatives Liquid Delivery System (LDS), das für atmosphärische oder Vakuumprozesse angewandt werden kann. Das Dampferzeugungssystem besteht aus einem (thermischen oder Coriolis-) Flüssigkeitsdurchflussmesser, einem Massendurchflussregler für Trägergase und einer temperaturgesteuerten Misch- und Verdampfungsanlage. Das System ist für die Mischung von Flüssigkeitsströmen von bis zu 1 – 1.200 g/h geeignet, sodass gesättigte Gasdurchflüsse von 50 mln/min bis zu 100 ln/min gewährleistet werden. Dieses Verdampfersystem kann Bubbler ersetzen. Das CEM-System schaffte neue Möglichkeiten: Nicht nur Gemische, sondern sogar in Lösemitteln aufgelöste Feststoffe können erfolgreich verdampft werden.
Eigenschaften
Genau geregelte Gas-/Flüssigkeitsgemische
Schnelle Ansprechzeit
Hohe Reproduzierbarkeit
Sehr stabiler Dampfdurchfluss
Flexible Einstellung des Gas-Flüssigkeits-Verhältnisses
Niedrigere Arbeitstemperatur als bei herkömmlichen Systemen
Auf der Grundlage der oben beschriebenen CEM-Technologie hat Bronkhorst eine neue Serie von Vapor Delivery Modulen entwickelt. Diese kompakten Subsysteme umfassen die Komponenten des CEM-Systems und vieles mehr! Neben Massendurchflussreglern für Gase und Flüssigkeiten sowie dem temperaturgesteuerten Verdampfer zeichnet sich die VDM-Serie durch eine integrierte Stromversorgung sowie einem 1,8“ TFT-Display und Kontrollfunktionen aus. Optional kann eine lokale oder Fernschaltung für eine Begleitheizung integriert werden. Das kompakte „plug&play“-Modul gewährleistet einen (gesättigten) Dampfdurchfluss innerhalb eines Bereiches von 100 mln/min bis zu 10 ln/min. Es kann für atmosphärische Prozesse oder unter Vakuum eingesetzt werden. Das VDM-Modul kann nicht nur Flüssigkeitsgemische, sondern auch in Lösemitteln aufgelöste Feststoffe verdampfen.
Weitere Eigenschaften
(im Vergleich zu separaten CEM-Systemkomponenten)
Engineering oder Fertigung sind nicht mehr notwendig
